はじめに 一般的にシリコンウェハーは、300mm (12インチ)が使われています。 下記の記事では、300mm の 直径が1.5倍の 450mm のウェハーに関するお話。 www.theregister.com 18-inch (450mm) Wafer 下記の記事は、2011年2月3日の SemiWiki のもの semiwiki.c…
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