はじめに
あたしの大学での専攻は電子工学でした。なので、半導体プロセスについても学んでいるはずなのですが、ほぼ忘れています。
ということで、今日は、半導体プロセスについて、学んでみたいと思います。といっても、1日で学べるものじゃないですが。
群馬大学の中谷隆之さんの資料
群馬大学アナログ集積回路研究会での中谷隆之さん(元アドバンテスト)の資料がよさそう。
最新版は、「2021年版半導体市場と技術動向」なのですが、PDF にアクセスすると、サイトが無いと言われちゃいます。。。残念です。
色々調べてみたら、2017年度、「第5回 半導体製造プロセス」が見つかりました。
とりあえず、こちらを眺めます。
- Intelの14nm FinFETぐらいまで載っています。。。
EUV露光技術動向
- 液浸露光技術、ニコン
- 特集：EUV露光装置が織り成す半導体革命（レーザーテック、東京エレクトロン、アドバンテスト）
- ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を開発 (Nikon)
おわりに
大学・大学院の時に、半導体プロセス(特にDRAM)の研究室のメンバーはなんだか、泊まりとかあって大変そうでした。。。 あたしは、回路に関する研究室だったので、かなり緩かったです。
