はじめに

下記のニュースにて、熊本TSMCに10ナノ台高性能半導体も生産へ　とあったので、

www.asahi.com

下記のようなツイートをしてみた

TSMCの10nm って、ほとんど売上ないようなんだけど

>回路幅が22～28ナノメートルの半導体に加え、10ナノ台の半導体も手がける。https://t.co/d98iFJsvNp pic.twitter.com/WZK1A9oRuc
— Vengineer＠ (@Vengineer) 2023年3月5日

どうやら、10nm はコストメリットが無くなったので使われなくなったと

このツイートに対して、色々と教えてもらいましたので、記録として残します。

10nmノード世代は、2020年Q2の売り上げから集計に含まれなくなった
10nmノードは液浸ArFのマルチパターニングで製造コスト高に対し、7nmEUV露光の方が性能(コスパ)が良いから
元々10FF（TSMCの10nm）ってほとんど採用されてなかったというのがあります。10nmは7nmと同様クアッドパターニングで、それなら7nmに行った方が良いとなったようです。

これから、10nm (ArF液浸)は Quad Patterningで、7nm の最初の版、N7 (ArF液浸)でも Quad patterning で、7nm で行った方がよい。N7P も N7 と同様にArF液浸。一方、N7+ にて、EUV露光になったので Quad patterning でなくなり、コスパがよくなった

ということに。

参考ブログ

pc.watch.impress.co.jp