はじめに 半導体プロセスにおいて、性能・消費電力に大きな影響を与える寄生容量 Planar MOSFET, FinFET, GAAになって、寄生容量はどうなるの？ ということを、Grok 4.1 さんに聞いてみました。 半導体プロセスにおける寄生容量についてを、Planar MOSFET, F…